光罩盒 分类 參照 参考文献 导航菜单光罩載具编辑或修订编

半导体器件制造


光罩化學污染




光罩盒(Mask Package),意為儲存光罩的盒子,主要用于避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染[1]。



分类


  • 光罩運輸盒:由光罩製作廠運輸至晶圓廠間運輸用;

  • 光罩廠區內部運輸盒;

  • 光罩機台傳送盒:將光罩送入機台的盒子,針對特定的設備使用不同的傳送盒。其中包括非SMIF系統和SMIF系統。


參照


  • 光罩


参考文献




  1. ^ 光罩載具





Popular posts from this blog

瀋陽號驅逐艦 目录 接收與服役 配置反潛直升機 武進三型性能升級 歷史 除役 參考資料 外部連結 导航菜单Taiwan Air Power海疆老兵-陽字號驅逐艦沿革World Navies Today: Taiwan (Republic of China)DD-839 USS POWER编

波兰旗帜列表 目录 国旗 军旗 其他制服部门旗帜 特别国家机构船只 参考文献 外部链接 导航菜单Polskie flagi, chorągwie, bandery... [波兰旗帜、条幅、船旗等]原始内容Ustawa z dnia 31 stycznia 1980 r. o godle, barwach i hymnie Rzeczypospolitej Polskiej oraz o pieczęciach państwowychZarządzenie Ministra Obrony Narodowej z dnia 14 grudnia 2005 r. zmieniające zarządzenie w sprawie szczegółowych zasad używania znaków Sił Zbrojnych Rzeczypospolitej Polskiej oraz ustalenia innych znaków używanych w Siłach Zbrojnych Rzeczypospolitej PolskiejZarządzenie Ministra Obrony Narodowej z dnia 29 stycznia 1996 r. w sprawie szczegółowych zasad używania znaków Sił Zbrojnych Rzeczypospolitej Polskiej oraz ustalenia innych znaków używanych w Siłach Zbrojnych Rzeczypospolitej PolskiejUstawa z dnia 19 lutego 1993 r. o znakach Sił Zbrojnych Rzeczypospolitej PolskiejHistoria Marynarki Wojennej RP [波兰海军史]Rozporządzenie Ministra Spraw Wewnętrznych i Administracji z dnia 12 kwietnia 2002 r. w sprawie wzoru flagi oraz oznakowania jednostek pływających i statków powietrznych Straży GranicznejRozporządzenie Ministra Spraw Wewnętrznych i Administracji z dnia 18 kwietnia 2005 r. w sprawie wzoru flagi oraz oznakowania jednostek pływających i statków powietrznych PolicjiRozporządzenie Ministra Infrastruktury z dnia 21 października 2005 r. w sprawie wzorów flag dla statków morskich na oznaczenie pełnionej specjalnej służby państwowej oraz okoliczności i warunków ich podnoszenia波兰旗帜波兰编

Indenting and Dedenting ASP code with Python