光罩盒 分类 參照 参考文献 导航菜单光罩載具编辑或修订

半导体器件制造


光罩化學污染




光罩盒Mask Package),意為儲存光罩的盒子,主要用于避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染[1]



分类


  • 光罩運輸盒:由光罩製作廠運輸至晶圓廠間運輸用;

  • 光罩廠區內部運輸盒;

  • 光罩機台傳送盒:將光罩送入機台的盒子,針對特定的設備使用不同的傳送盒。其中包括非SMIF系統和SMIF系統。


參照


  • 光罩


参考文献




  1. ^ 光罩載具





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