光罩盒 分类 參照 参考文献 导航菜单光罩載具编辑或修订编
半导体器件制造
光罩化學污染
光罩盒（Mask Package），意為儲存光罩的盒子，主要用于避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染[1]。
分类
- 光罩運輸盒：由光罩製作廠運輸至晶圓廠間運輸用；
- 光罩廠區內部運輸盒；
- 光罩機台傳送盒：將光罩送入機台的盒子，針對特定的設備使用不同的傳送盒。其中包括非SMIF系統和SMIF系統。
參照
- 光罩
参考文献
^ 光罩載具
 | 这是一篇與科学相關的小作品。你可以通过编辑或修订扩充其内容。 |
